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SEMISTAR-MR124

SEMISTAR-MR124

適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版,引領業界的高性能!供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時的高速搬運。

半導體晶片搬運用機器人
負載:-
動態範圍:1215mm
控制櫃:SR100
用途:搬運、半導體

大動作範圍:EFEM模塊移動距離可達4套應用設備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率。
高速搬運:300枚/小時
適用:300mm-450mm晶片搬運


項目規格
機械臂適用晶體尺寸300mm(450m)*1
晶體把持方式真空吸附夾具或邊緣夾具
標准邊緣效應器長*2對應345mm@300mm的晶體
驅動軸數5軸
手臂類型單臂
動作範圍R軸伸縮*31215mm
θ軸回旋330°
Z軸升降480mm
B軸回轉440°
最小回轉半徑*2510mm
最快速度*2伸縮260°/s
回旋330°/s
升降550mm/s
B軸回轉350°/s
線性2000mm/s
重複定位精度*20.1mm(P-P)
質量66kg
位置調整器適用晶體尺寸300mm
晶體把持方式真空吸附夾具
檢出對象凹槽
晶體材質珪素*4
晶體邊緣檢出傳感器LED + CCD線性传感器
動作範圍回旋無限制
最快速度(加速/減速時間)回旋1000°/s(0.1s/0.1s)
LINEMENT精度±0.03°
LINEMENT時間1.7秒以下
質量5.8kg
設置環境潔淨等級*5ISO等級1
使用溫度·濕度20~30℃,35~55%RH(不結露)
保管溫度·濕度0~40℃,35~80%RH(不結露)
標高表高1000m以下
環境無爆炸性,腐蝕性,可燃性氣體
MCBF1500次循環以上


*1:本公司標准終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
*2:300mm晶体(SEMI規格标准品),当使用本公司标准300mm对应终端校准器时
*3:機械臂回旋中心位置~晶体中心位置(本公司标准300mm对应终端效应器时)
*4:根据SEMI規格为基准的晶体規格。特殊石英晶体请与我司联系。石英晶体也可对应(有业绩)。但是根据石英規格,本公司需要进行评价和调整。
*5:在0.3m/s的流量下,機械臂进行真空吸附