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SEMISTAR-VD95D

SEMISTAR-VD95D

適用于真空環境內最大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人!

雙腕玻璃基板搬運機器人
負載:95KG
動態範圍:2300mm
控制櫃:DX100
用途:搬運、潔淨室

大動作範圍:最大搬运尺寸达730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。
手臂采用連杆機構實現高鋼性。
采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。
手臂可內置基板傳感器用配線。

項目規格備注
名稱SEMISTAR-VD95D
機型XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜)
構造水平多關節形(4個自由度)
動作範圍L,R軸(伸縮)2300mm

S軸(旋轉)-170°~+170°

U軸(升降)150mm
動作時間*1
(最高速度運作時)
L,R軸(伸縮)3.2秒以下2300mm伸縮距離
S軸(回轉)3.8秒以下340deg旋轉距離(但L,R=0)
U軸(升降)2.5秒以下150mm升降距離
重複定位精度*2各軸±0.3mm抓手安裝部分中心位置時
手臂抖動精度±0.3mm以下水平方向,抓手安裝部分中心位置時
負載95KG/手臂含抓手重量
容許慣性力矩(CD2/4)最大118kg·m2含抓手重量,抓手安裝部分中心位置時
耐真空度1*10-6Pa
本體質量1500kg
適用控制櫃式樣ERDR-VD0095D-A00三相AC200V,3.0kVA

*1:動作節拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性産生共振時,會影響動作節拍,請重新設定。
*2:依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时負載变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。